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莱宝离子泵-small/Low Profile/Tall Profile系列

优势速览:
  • 莱宝离子泵

  • 离子泵工作原理
  • 创造强础场区域
  • 永磁铁置于泵体真空腔之外,产生强磁场,用来控制和引导电子在阳极筒内环形运动
  • 第二步
  • 产生电子云
  • 泵体真空预抽后,施加高电压,电子在阳极简产生旋转电子云,并被强磁场所约束
  • 第三步
  • 当气体分子进入阳极筒单元,被电子轰击,离化为正离子,正离子经高压电场加速后高速飞出阳极筒飞向阴极板
  • 第四步
  • 气体离子吸附抽除
  • 当气体阳离子达到阴极板,高速动能产生的溅射作用,阴极材料被轰击出飞向阳极筒,同时气体离子通过下述两种吸附作用之一被抽除:物理吸附、化学吸附

技术参数:
  • TiTan"莱宝离子泵优势
  • 长使用寿命
  • 设计使用寿命均可达45,000-50,000小时。随着工作压强的降低,使用寿命将会线性增加举例而言,若始终工IE-9mabr的UHV环境下,离子泵可以连续运行数十年。
  • 高真空
  • 所有离子泵在出厂时内部真空度低于1E-10bar,检漏数据和RGA扫描分析报告等生产和质量数据可追溯。
  • 线缆
  • SAFECONN系列电缆具有高压安全锁功能,规避触电等安全风险,耐高温耐辐射、易弯折方便安装
  • 高压端子
  • 10kvsHv( SAFECONN)高压端子是莱宝离子泵标准配置,具有安全、易于连接等特点。
  • 所有离子泵均可选配集成110V或220V加热器,配铁磁体的小型离子泵也可以安装加热器。带磁铁可以进行250°C烘烤,不带超铁可以进行450°C烘烤。

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  • 离子泵工作原理

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