RGA和检漏仪都利用质谱原理。与检漏仪相比RGA的优势在于它能检测氦气以外的气体如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “检漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA没有配备独立的真空系统,需要设备的真空系统支持。
RGA既可以用于极高真空系统的残余气体分析又能作为工艺气体监测仪实现工艺控制。
RGA和检漏仪都利用质谱原理。与检漏仪相比RGA的优势在于它能检测氦气以外的气体如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “检漏”只是RGA的附加功能之一。
RGA没有配备独立的真空系统,需要设备的真空系统支持。
RGA既可以用于极高真空系统的残余气体分析又能作为工艺气体监测仪实现工艺控制。
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